半导体工业应用中需要将氮气的纯度和清洁度控制在一定范围内

气体广泛应用于化工、钢铁、半导体、电子、医疗、石油、食品等行业。气体种类繁多，可分为一般特殊气体和工业气体。例如，在半导体BQ27510DRZR-G2工业中使用氮气是半导体工艺中非常重要的气体之一，使用量最大。由于其不导电、冷却速度快的特点，在工艺过程中可以保护设备，也可以用于危险气体与空气的隔离或低温试验。

气体供应系统的氮气要求更严格，需要达到高清洁度、高纯度和高干燥度的条件；为了控制干燥程度，在气体供应和输送系统的过程中，将设置露点传感器来监测气体是否足够低。

实际应用:

半导体厂的氮气供应模式取决于气体规模、氮气生产厂之间的距离，工厂采用不同的气体供应模式进行零星分布或聚集设置，如桶槽供应模式、气缸供应模式、管道供应模式、气端供应模式等。无论任何供应模式如何，都必须通过输送系统的氮气储存容器，如高压气瓶或吸附气瓶，然后通过管道将气体供应到现场附近的阀箱中，控制与进气的混合比对制程后端机器进行控制和供应。

半导体行业使用的氮气大多直接接触电子零件，纯度需要达到ppm，ppb等级洁净度是控制粉尘粒径小于0.1…0.05m，压力露点-40℃…-70℃。

为了达到使用氮气的标准，通常会在气体传输到冷冻干燥机前端的气体上安装露点传感器，也可以安装在烘烤净晶体前面，这样可以更准确地监测氮气运输过程中的露点值，保持在极低的湿度，从而提高。

德国GFS露点传感器NP330-G测量气体中的微湿度，绝对露点传感器，在-80°CDP至+20℃DP测量范围内气体中的微量湿度。湿度传感器NP330-G用于在线测量空气和腐蚀性气体中的绝对含水量(露点)，可编程开关输出，用于报警信号，并对露点镜进行校准。结构坚固可靠，防护等级高。IP65可提供OEM代理加工可根据要求提供防爆设计，用于化学污染、冷凝等恶劣环境，非常适合工业工艺气体供应或压缩干燥机效率监测。

在半导体工业应用中，需要将氮气的纯度和清洁度控制在一定范围内，也因为它会直接接触?精细的加工工艺和微量水分的改善极大地影响了工艺中产品的产量。根据行业调查，25%以上的工业不良产品都是由于对低湿环境的无效控制造成的损害。可以看出，在气体供应和输送系统的规划中，与露点传感器配合进行监控是一个不容忽视的重要环节；监控与工艺相结合，可以随时监控反应物和产品的比例，完全燃烧帮助工厂节约成本，也能达到更好的实用性和安全性。

控制清洁度监测产品露点模式

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