流量传感器在工业过程控制中起着极其重要的作用

流量计(流量传感器)在工业过程控制中，汽车电子、航空航天、生物医疗、集成电路和科学研究都起着极其重要的作用。

因为测量原理不同的适应性和特性，流量计的种类很多，目前广泛使用的有:电磁流量计、差压式流量计、涡轮流量计、超声波流量计BSR15、热式气体质量流量计。

基于传热原理，热气质量流量计准确测量目标介质的质量流量。与其他类型的流量计相比，它具有高灵敏度、体积小、量程比宽等特点。

.随着精细化工、高端半导体等行业的发展，流量计需要在更宽的测量范围内稳定工作，即流量计需要更宽的测量范围比，热流检测成为最有可能的解决方案之一。

早在上世纪末，许多研究热气流量计的企业就优化和提高了量程比的关键性能指标。

如美国Kurz通过优化传感器的特性，公司团队将其流量计量比提高到1000:1，相对误差为1%。

为了进一步扩大气流传感器的检测范围，同时保持较高的测量精度，许多研究人员提出了各种优化流量测量程比的方案。

其中，基于MEMS由于芯片本身的高信噪比，流量传感器芯片的热气体质量流量计方案、低功耗、低成本等优势，逐渐成为当前的主流方向。

N.A.Djuzhev学者们提出了一种双模式测量系统，热模式和风速模式，并开发了一种宽量程气流传感器。

在低流速（流量速度变化从0.05m/s到1m/s），测定风速风向的在高流速（流量速度变化超过1m/s）来衡量流动速度在大范围从0.05m/s到5m/s，即100:1的量程比且相对误差为2%。

Kang Woong等学者提出的热电堆流量计中，对流量计的敏感区域的分布进行了研究，用以扩展测量量程。

加热器与热电堆之间的距离变化为D/H=0.3、0.5、1和2。可实现5到50L/min的流量测试，可实现10:1的量程比且相对误差为2%。

Tianxi Zhang，等学者提出了一种利用FBG-EFPI作为温度计的基于热线效应的流量计。该流量计可实现3000:1的量程比且分辨率为10L/h。

近年来，随之而来MEMS流量传感器芯片技术逐渐成熟，响应速度快(~1ms）、精度高（~0.01sccm,标准立方厘米分钟)、高可靠性(纯固态、没有可移动部件)等优势异常突出，基于流量芯片的各种流量计也在计量、检漏、控制、通风等各场合获得广泛应用。

作用过程控制相对误差优化流量测量

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