MEMS传感器技术在不断推进工业化浪潮

MEMS传感器是微机电系统（Micro-electroMechanicalSystems），是指集精密机械系统与微电子线路技术于一体的工程设计，其规格一般在μm数量级。无人机市场如此大变化的关键是高性能MEMS发生传感器。

MEMS传感器是微机电系统（Micro-electroMechanicalSystems），是指集精密机械系统与微电子线路技术于一体的工程设计，其规格一般在μm数量级。包装技术是MEMS传感器成功的关键，其技术包括SIP(系统级封装)WLP(晶圆级封装)，三维硅破孔)（TSV）根据三维堆叠技术，将小型化后传感器的机械部件与其他微电子部件集成，最后根据不同的应用领域采用不同的包装类型，最后进行组装。

一，优点

与传统的机械传感器相比，MEMS具有巨大的竞争优势：

1.MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低的特点。

其内部结构可达μm甚至纳米量级。同时，其内部机械部件具有惯性小、谐振频率高、反应时间短等优点。

2.MEMS批量制造、封装、检测可通过硅微生产工艺进行。

以单独5mm*5mm尺寸的MEMS以设备为例，在一个16英尺的硅片晶体上可以同时切割出大约4000个芯片，可以大大降低设备的产品成本。YoleDevelopment单独研究MEMS平均成本为0.1-1美元之间。

3.随着MEMS技术和技术的发展现在侧重于分离MEMS更多的功能融入芯片，完成更高的集成度。

例如惯性传感器IMU，从以前的分立惯性传感器到现在MPU3轴集成了6050芯片MEMS陀螺仪，3轴MEMS加速度计和可扩展的数字运动CpuDMP。未来，系统级的高度集成将是MEMS未来互联网应用的关键承重方式。

4.MEMS选用硅基生产工艺，硅具有相当于铁的强度和强度，类似于铝的密度，热传导率接近钼和钨，因此可以适应传统IC生产工艺。

5.MEMS它是一个涉及机械、半导体、电子、物理、生物、材料等学科的交叉领域。而且它融合了当今科学技术发展的许多前沿成果。

二，运用

1.无人机产业

十多年前，消费级无人机可能还没有在市场上占有一席之地，但现在更多的人听到无人机可能会想到大江精灵系列，皇家Mavic系列等。无人机市场如此大变化的关键是高性能MEMS发生传感器。

在无人机控制系统中，最重要的AD8056ARM传感器是惯性测量单元IMU这是典型的6轴IMU包含3轴MEMS加速度计和陀螺仪。无人机的轨迹可以根据传感器的测量参数和姿态解算算法来确定。MEMS技术升级，IMU通过自身获取的数据的准确性，传感器的集成度和体积将进一步小型化。

2.投影显示

基于DMD数据光源解决技术（DLP）比较投影技术LCD液晶显示器饱和度更高，界面更清晰、更稳定。因为选择是因为MEMS利用发送光成像的光学原理技术，完成了智能图像处理。

因此，它被广泛应用于桌面投影仪、商业投影仪和电影院，特别是在大屏幕投影和拼接显示行业。此外，它还主导着医学成像、光谱分析、光学测量、无掩模光刻和结构照明。

三，展望

尽管MEMS受疫情影响，该地区发展速度有所缓解，但总体趋势仍在改善。主要表现为工业控制、医疗电子、高端消费电子(无人机)、汽车电子等行业的快速发展MEMS市场持续增长。同时伴随着第三次MEMS不断推进产业化浪潮，MEMS预计到2026年，市场规模将迎来开创性增长。

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