昊衡科技高性能OFDR--OCI1500--国产高端仪器助力国产化芯片制造

昊衡科技自主研发以OFDR为核心的高分辨光学链路诊断仪OCI，具有超高空间分辨率，能精确测量回损、插损和光谱等参数，其事件点定位精度高达0.1mm，广泛应用于光器件、光模块、硅光芯片等内部链路反射情况测量，以下为一组硅发射芯片测量。

硅发射芯片主要组件有一维光栅耦合器，可变光衰减器，强度调制器和偏振调制器。将芯片和OCI1500连接，进行反射率分布测量。

图1. 硅发射芯片链路示意图

在10μm空间分辨率下获得测试结果，其中存在多个反射峰，且与芯片内部器件一一对应。为确定反射峰位置，在调制器上施加信号，对反射峰的变化情况进行观察和分析，得到最终分析结果。

图2.硅发射芯片10μm测试结果 从上述结果可以看出，高分辨光学链路诊断仪（OCI）可实现对芯片内各器件的识别、定位及回损测量。OCI设备在芯片前期研发以及后期产线产品批量合格检测中，可起到关键性作用。昊衡由衷希望，国产OFDR技术助力国产化芯片制造，加速硅光芯片项目开发、测试与生产。

昊衡科技

一家集研发、生产、销售于一体的高科技公司，专业从事工业级自校准光学测量与传感技术开发，也是一家实现OFDR技术商用化的公司。 目前，昊衡科技已推出多款高精度高分辨率产品，主要应用于光学链路诊断、光学多参数测量、高精度分布式光纤温度和应变传感测试。已与全球多个国家和地区企业建立良好的合作关系，并取得诸多成果。

芯片测量反射链路

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