光刻机的核心部件是什么

一台高端的光刻机由上万个零部件构成，光刻机的主要核心部件主要分为两个部分：分别是对准系统和紫外光源。

目前对准系统主要有两大难题，精密的机械工艺和对准显微镜系统。精密的机械工艺目前只有美国、德国少数国家有这方面的专利，而对准显微镜系统其实就是镜片，在这方面我国一直处于落后的状态。

关于紫外光源，光刻机对光源的要求十分高，一是要有适当的波长，二是光要有足够的能量，三是光能量且必须要均匀的分布在曝光区。

审核编辑：姚远香

核心零部件系统光刻

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