我国在研发制造光刻机的核心技术和装备领域取得突破

据中国机床行业报道,北京博鲁斯潘精密机床有限公司与中国科学院长春光机所国望光学杨怀江博士团队合作研发的光刻机物镜系统超精密磨床ULTR-700VG,于2021年5月18日通过国家机床质量监督检验检测中心检测。该超精密机床工作台直径700mm,X轴行程:> 350mm、Z轴行程:>250mm、X轴定位精度:3μm/350mm(VDI 3441)、X轴重复定位精度:+/-1μm(VDI 3441)、X轴直线度:1μm/100mm,3μm/350mm、Z轴直线度:1μm/100mm,2μm/250mm、X轴与工作台平行度:0.5μm/350mm、Z轴与工作台垂直度:2μm/250mm、X,Z轴最小可执行位移为0.1μm。磨削500mm直径的合金钢零件的平面度以及双面平行度达到0.2微米;该超精密数控机床是高刚度的工程化实用产品,可以广泛应用于我国IC电路、光学工业、航空航天等精密超精密制造领域的批量化生产;该技术和产品处于世界领先水平,属于我国机床工业领域的首台套;公司拥有自主知识产权;这些技术和装备,是制造光刻机物镜系统、光刻机工作台系统的关键;超精密纳米光学零件首先要通过这类超精密装备的高效批量加工后,再通过等离子体局部抛光,才能达到纳米级的面形精度和亚纳米级表面粗糙度,否则就很困难。项目组负责人北京博鲁斯潘精密吴行飞博士表示,优化工作环境,避免干扰,下一步的目标是直径2000mm的超大型光学超精密技术与数控装备的研发,精度将突破0.02微米。

据笔者检索,北京博鲁斯潘精密是一家国资与民营混合制国家级高新技术企业,公司创始人吴行飞博士早年师从我国超精密机床和工艺研究泰斗、中科院院士徐性初先生,后在德国访问学习,从事超精密共性基础技术和工艺研究20多年。2006年回国后,创立了北京博鲁斯潘精密,在中国宝安集团、凯泰资本、湖南航空航天基金、杭实集团、华盛一泓、红马资本的推动下,公司先后获得了数亿元的资金支持,已经陆续推出精密五轴联动光学数控加工中心、超精密光学数控车床。将超精密共性基础技术与工艺降维使用在高端数控机床领域,又推出了十七轴双主轴五面体五轴联动卧式加工中心、六轴五联动飞机发动机涡轮蜗扇、叶片精密铣削和叶榫精密磨削加工中心。该类高精尖超精密数控机床对我国芯片、IC集成电路、光学、航空航天工业突破国外封锁,实现高精尖技术与装备的自主可控发展,具有重要的战略意义和经济意义,是解决“卡脖子”问题的关键装备。公司以进口替代为目标,已经形成了商业化产品,在汽车零部件领域,已经交付用户六条自动化生产线,是新中国成立以来,唯一在世界龙头企业批量化全厂替代进口高端数控机床的公司。机器自2015以来,实现了每天24小时不停机生产,完成了稳态和可靠性的长期验证;2019年10月,中国机械工业联合、中国机床工具协会组织了国家级鉴定,与会专家认为,这一突破,对我国高端数控装

光刻机物镜系统零件超精密数控磨床 ULTRA 7600VG

备的技术进步,具有重要的推动作用。吴行飞博士个人、团队各项成果先后获得中国机械工业科技进步一等奖一次、二等奖两次。

核心技术研发突破光刻

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