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晶瑞顺利购得 ASML XT 1900 Gi 型光刻机一台，可研发最高分辨率达 28nm 的高端光刻胶
2021-01-20 16:34:00
晶瑞股份发布公告：经多方协商、积极运作，该公司顺利购得 ASML XT 1900 Gi 型光刻机一台。
该光刻机于 2021 年 1 月 19 日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室，即将组织调试。此外，这款 ASML XT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻机可用于研发最高分辨率达 28nm 的高端光刻胶。
IT之家了解到，晶瑞股份于 2020 年 9 月 28 日晚发布公告称，将开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，拟通过 Singtest Technology PTE. LTD. 进口韩国 SK Hynix 的 ASML 光刻机设备，总价款为 1102.5 万美元（折合 7508 万人民币）。
ASML XT 1900 Gi 型光刻机并非先进工艺光刻机，但也实属不易，在这关键时刻也算意义重大。
以下为官方原文：
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