为何只有荷兰ASML才能制造顶尖EUV光刻机设备?

自从芯片工艺进入到7nm工艺时代以后，需要用到一台顶尖的EUV光刻机设备，才可以制造7nm EUV、5nm等先进制程工艺的芯片产品，但就在近日，又有外媒豪言：这种顶尖的EUV极紫外光刻机，目前全球只有荷兰光刻机巨头ASML能造，对此也有很多网友们感觉到非常疑惑，为何只有荷兰ASML可以造顶尖EUV光刻机设备呢？像我国的上海微电子、日本的索尼、佳能都造不出来吗？

从目前顶尖的EUV极紫外光刻机设备，采用是极紫外线，波长为13.5纳米，要知道在目前可见光中的紫光波长最短也只有380-450纳米，所以想要获得13.5纳米的“极紫外线”，就需要经过特殊工艺处理，而ASML公司的做法就是，直接将高纯度的锡加热到熔化，然后再喷射到真空中直接形成锡珠，然后再通过激光照射这些锡珠，让锡珠变成粉饼状，然后还需要用到高功率的二氧化碳激光照射去照射这些“粉饼”，才可以释放出极波长为13.5纳米的紫外线，但就是这样一套极紫外线生成的解决方案，都有多家公司提供合成，例如ASML公司只提供了锡珠喷射方案，而高功率二氧化碳激光方案等整体方案则由德国的TRUMPF公司提供。

看到这里，或许很多网友们会说：“有了极紫外线不就可以生产芯片了吗？” 但实际上还需要对这些产生的极紫外线进行下一步处理，让这些从随机向四面发射极紫外线收集起来，转变为方向一致的极紫外线，而这里又需要使用到布拉格反射器，直接将向四面发射的极紫外光源集合起来，汇聚成一束强的光线用于芯片光刻，而在这种布拉格反射器又是由卡尔蔡司（Zeiss SMT）所提供，在全球范围内，还没有找到超越卡尔蔡司（Zeiss SMT）第二家公司。

可以说一整台EUV极紫外光刻机设备中，拥有高达3万多个零部件，他们都来自于全球各国的顶尖技术或者是设备，当然即便是你购买到了ASML公司的极紫外光刻机，如果没有ASML公司的帮助，你也无法正常安装使用，因为EUV极紫外光刻机设备需要在一个清洁度非常高的车间中，完成整个光刻机设备的安装调试，才能够达到7nm EUV、5nm工艺芯片工艺的精度，看到这里，也就不难理解， 为何只有荷兰ASML公司能够拥有EUV光刻机技术了吧，因为荷兰ASML公司也是整合了全球各国顶尖的技术。
责任编辑:tzh

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