上海睿励正在开发应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备

10月29日，中微公司发布2020年第三季度报告，公司2020年1-9月实现营业收入14.76亿元，同比增长21.26%，归属于上市公司股东的净利润为2.77亿元，同比增长105.26%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为-0.45以元，同比下滑138.08%。

中微公司表示，公司净利润增长主要系本期公允价值变动收益较上年同期增加1.52亿元，扣非后净利润下滑，主要系本期股份支付费用增长0.61亿元，研发总投入增加以及研发费用资本化金额减少。

2020前三季度，中微公司毛利率为34.78%，同比下滑4.11%。中微公司表示，由于期间销售产品结构变化、开发支出所形成的无形资产摊销计入营业成本导致毛利率下降。

拟出资1500万元获昂坤视觉4.5%股权

同日，中微公司发布另一则公告称，公司基于经营战略发展考虑，拟以1500万元人民币现金受让昂坤视觉（北京）科技有限公司（以下简称“昂坤视觉”）现有股东吕煌所持有的目标公司4.50%股权，对应目标公司注册资本25万元人民币。该次转让及增资的投前估值为3亿元。

据披露，昂坤视觉致力于为LED、宽禁带半导体和集成电路产业提供光学测量和光学检测设备及解决方案，具备先进的光学系统设计、光学成像技术和机器视觉算法研发能力。主要自主研发生产销售MOCVD温控系统和AOI自动光学检测设备两大类产品。其中MOCVD温控系统，占据国产MOCVD设备大部分市场；AOI自动光学检测设备则采用了公司自主设计的光学镜头、系统和算法，配备了自动聚焦功能，设备带有深度学习功能，已经应用在国内主要化合物半导体制造厂商。

中微公司表示，昂坤视觉为公司的供应商，本次公司对外投资，系公司为保障MOCVD产品在线温度检测而进行，符合公司经营发展的需要。

变更对上海睿励投资事项

2019年8月20日，中微公司召开董事会审议通过了《关于2公司对睿励科学仪器（上海）有限公司进行投资暨关联交易的议案》，同意公司投资睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海睿励”）1，375万元。

经董事会审议后，中微公司聘请中介机构对上海睿励进行包括财务、法律在内的尽职调查。根据双方协商，拟将对上海睿励的投资额由1，375万元调整为500万元，并以目前中微公司对上海睿励的500万元债权出资。

2020年10月27日，中微公司董事会审议通过《关于变更公司对睿励科学仪器（上海）有限公司投资事项暨关联交易的议案》，同意公司对上海睿励的投资额由1，375万元调整为500万元，同意上海睿励投资前估值调整为37，300万元。中微公司以500万元的债权向上海睿励出资，认购上海睿励新增注册资本416.6667万元，认购单价为1.2元/股（注册资本）。

据披露，上海睿励致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，是国内少数几家进入国际领先的300mm生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。

上海睿励主营的产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行了14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3DNAND芯片的生产，并正在验证96层3DNAND芯片的测量性能。上海睿励应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备，也已成功销售到众多国内LEDPSS衬底和LED芯片生产线。

上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。
责任编辑:tzh

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