ASML从荷兰向中国提供DUV光刻系统,无需出口许可证

对于我国的芯片行业而言，更为先进的光刻机的确是个很大逾越的障碍，而全球的设备也都来自ASML。ASML CFO Roger Dassen在财报会议的视频采访中谈到了与中芯国际等中国客户的业务情况，其表示一些情况下，出口光刻机是不需要许可证的。

Roger Dassen指出，ASML了解美国当局目前的规章制度及其解释，当然也知道这些与特定的中国客户密切相关，但如果广泛的来理解其规章制度对ASML的总体含义（对于特定的中国客户），则意味着ASML将能够从荷兰向这些中国客户提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。

不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。

在这之前ASML还公布了光刻机产品的最新进展，3600D是其目前研发中的最先进光刻机系统，于2021年中旬出货交付，其30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1nm。
责任编辑：YYX

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