日本限制氟化氢出口,中国大陆和台湾为替代优选方案

日本采取对韩出口限制措施后，韩国国内正积极寻求日本氟化氢替代方案。三星电子与SK海力士等半导体公司紧急派遣采购小组以寻找氟化氢厂商。除了海外企业外，也努力寻求本土企业以实现供应国家多元化。

日本采取出口限制的氟化氢大体可分为液体氟化氢和气体氟化氢两种。氟化氢可以去除半导体晶圆氧化膜以减少chip不良。液体氟化氢由日本的森田和Stella占据大部分市占率，而气体由日本昭和電工占据大部分市场。若日本限制时，韩国半导体制程将会亮起红灯。

三星电子和SK海力士在过去一个月时间里，从最高领导层到采购职员都忙碌于在全球各地寻找其库存。

截至目前来看，中国大陆和***为替代优选方案。据传，SK海力士在和中国凯圣氟化学接触以协商供应案，而三星电子则在测试中国滨化集团的产品。两家企业皆为中国最知名的氟化氢企业。

三星电子为供应多元化也曾接触过国际化学企业B公司，但最终因条件不符导致中断协商。韩国材料业界人士表示：中华区企业的纯度并非为可替代日本Stella或森田的程度，应该需要先进行紧急采购后逐步进行调节。

而也有相关人士认为：两家公司连供应TSMC的小供应量企业都不放过，以筹集氟化氢 。除了中华区的供应外，两家公司也正在寻求韩国本土的替代方案。液体氟化氢的缺口部分将会有韩国Soulbrain弥补，位于忠南的新工厂计划于9月启动。据业界人士正式Soulbrain既有供应经验，而新设的工厂产能规模也是相当。

湿蚀刻氟化氢用途 （图片来源：etnews）

气体氟化氢的韩国本土替代方案则被传由SK Materials供应。公司目标年内供应SK海力士样品。三星电子也计划与本土气体制造商F公司和M公司合作进行测试。

但关键还是在寻找氟化氢的完美替代方案之前可以撑多长时间。日本将出口审查时间定为90天，意味着至少要有足够库存撑到9月份，并在这期间迅速提升技术力。

因半导体是一种精细制程，必须要慎重选择以避免良率影响。也有业界推测假设测试品结果满意的前提下，也依然需要至少2~3个月时间才能应用到制程中。

而韩国认为选择中华区的替代方案也并非是完全可以放心的方案。若与中国厂商合作时，相当于是变相的扶持中国半导体材料企业，最终会使中国半导体厂商成为最大受益者。

出口方案日本国内

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