国内完成了MEMS空气声矢量传感器的研制,并可实现小批量生产,传感器,mems,传感器,国内,北京大学,样品,国内完成了MEMS空气声矢量传感器的研制,并可实现小批量生产-据麦姆斯咨询报道,北京大学微纳电子学系高成臣教授课题组依托MEMS工艺平台,经过6年的持续研究,在国内首次研制出了高性能的热式声粒子振速传感器,并完成了声粒子振速传感器与声压传感器的系统集成,制作出了高性能的MEMS空气声矢量传感器,该传感器能够完成声压信号的全信息检测。...
2019-05-26 08:11:00行业信息传感器 国内 北京大学