刻蚀机能替代光刻机吗

刻蚀机不能代替光刻机。光刻机的精度和难度的要求都比刻蚀机高出很多，在需要光刻机加工的时候刻蚀机有些不能办到，并且刻蚀机的精度十分笼统，而光刻机对精度的要求十分细致，所以刻蚀机不能代替光刻机。

刻蚀机和光刻机无论是从工艺、流程、设备性能、精度等方面都有很大的区别，主要区别如下：

光刻机的难度大于刻蚀机，光刻机是把图案印上去，而刻蚀机是根据打印的图案去掉有无图案的部分，将剩下的留下。

审核编辑：姚远

刻蚀机能精度高出

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