多晶ZnO:Al薄膜的蚀刻特性研究，蚀刻,晶片,薄膜，密度,解释,凹坑,证实，将ZnO:Al薄膜织构化与沉积条件的依赖性分开是优化ZnO作为太阳能电池中的光散射、透明接触的一个重要方面。对于给定的多晶ZnO:Al薄膜，凹坑的密度和形状可以通过改变各种酸的温度和浓度来控制。凹坑密度通常随着温度的升高、浓度的降低或通过在小分子大小的弱酸中蚀刻而增加。观察到的多晶ZnO:Al膜的腐蚀趋势在ZnO单晶上得到证实。我们从蚀刻速率和凹坑形成的角度详细讨...
2022-05-23 16:51:00行业信息密度 解释 凹坑
