模材

• 常见的各向同性湿法刻蚀的实际应用

  

  常见的各向同性湿法刻蚀的实际应用，mems,传感器,硅晶体，传感器,刻蚀,常见,模材，湿法刻蚀也称腐蚀。硅的湿法刻蚀是 MEMS 加工中常用的技术。其中，各向同性 （Isotropic）湿法刻蚀常用的腐蚀剂是由氢氟酸（HF）、硝酸（ HNO3）和乙酸（CH3COOH）组成的混合物（也称为 HNA 腐蚀剂）；对硅的刻蚀速率和对掩模材料的刻蚀选择性可通过各组分比例的不同来调节。目前，各向同性湿法刻蚀的实际应用较少。" /...

  2022-10-08 09:16:00行业信息传感器 刻蚀 常见