异丙醇(IPA)的解吸特性和 IPA 蒸汽干燥硅晶片中的水分，硅片,多晶硅,硅晶,晶圆，异丙醇,腐蚀,区域,计算，引言 我们华林科纳研究了电化学沉积的铜薄膜在含高频的脱氧和非脱氧商业清洗溶液中的腐蚀行为，进行了电位动力学极化实验，以确定主动、主动-被动、被动和跨被动区域。腐蚀率是由塔菲尔斜坡计算出来的。利用电感耦合等离子体质谱ICP-MS和x射线光电子光谱XPS，研究了溶液中过氧化氢的加入及其对腐蚀的影响。ICP-MS和势动力学方法产生了相...
2021-12-31 09:02:00行业信息异丙醇 腐蚀 区域
