Crossing Automation发布增强版Sparta,模块,性能,公司,能力,增强版,Crossing Automation发布增强版Spartan EFEMCrossing Automation公司 (www.crossinginc.com)近日宣布,已经提高公司的Spartan设备前端模块(EFEM)的性能,将其每小时的加工能力提高至450张晶圆。改进设计的目的是满足高通量半导体制造工艺如剥离/去胶、清洗和离子注入的需要。由于拥有专有的晶圆机常压机器人,改进后的Spartan EFEM可在不到...
2010-03-31 00:00:00百科模块 性能 公司