准分子激光

• EUV不能只靠高NA，大功率光源也该提上日程了

  

  EUV不能只靠高NA，大功率光源也该提上日程了，EUV,EUV光刻机,光源，核心,等离子,准分子激光,友网，  电子发烧友网报道（文/周凯扬）作为目前最先进的半导体制造设备，EUV光刻机的诞生是由各个部件在技术上的集体突破才最终成型的，比如光刻胶、掩膜板和镜组等等。但最为关键的还是EUV名号中的极紫外光的生成方式，也就是EUV光刻机的光源。 EUV光刻机的核心光源 与传统的准分子激光直接生成的DUV光源不同，EUV采用的是一台二氧化碳气体激...

  2023-02-13 07:04:00行业信息核心 等离子 准分子激光

• duv和euv光刻机区别

  

  duv和euv光刻机区别，光刻机,DUV,EUV，方案,准分子激光,需求,覆盖，DUV已经能满足绝大多数需求：覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。duv的光源为准分子激光，光源的波长能达到193纳米。" /...

  2022-07-06 15:56:00行业信息方案 准分子激光 需求