吉时利仪器扩展S530参数测试系统量测能力

　　吉时利仪器公司持续强化S530参数测试系统，使这款测试系统成为半导体业界高速产品参数测试最具成本效益的解决方案。在最新版本吉时利测试环境软体（KTE V5.4）的支援下，S530目前可被配置为48 pin 完整的Kelvin开关与搭配最新选项以提供脉衝产生器、频率量测和低电压量测。有了这些强化的新功能，S530系统能提供一个高速、又极具成本效益的解决方案来因应更宽广的产品参数测试应用。

　　S530低电流系统採用高性能开关矩阵来传输仪器与测试探针之间的信号，提供sub-picoamp等级量测解析度和低电流防漏机制从头到尾的全程监视。该系统的最新增强功能现在可支援48 pin 完整的Kelvin（四线式）开关配置，比以往可用的完整Kelvin针数增加了数倍。倍增系统最大探针数量而实现完整Kelvin开关机制与佈线，同时能保持信号的完整性，S530以强化的系统建构灵活性来结合精确高速量测功能，充分保障未来的完整测试。

　　全新的高速、高解析度示波器选项支援环形振盪器进行宽广频率量测範围的测试。这个新的系统选项具备高达每秒400千兆样本的取样率，能提供大约10kHz至20MHz的量测。随着愈来愈多的半导体晶圆厂已将环形振盪器纳入整体製程监控测试架构裡，参数测试系统的频率量测能力亦变得越来越重要。

　　随着愈来愈多积体电路将如快闪记忆的嵌入式记忆体纳入设计中，半导体晶圆厂也渐渐将记忆体结构和其量测增加于製程监控行程中。测试这些元件需要输出使用者所定义的电压脉衝来进行记忆单元的编写和消除动作，再进行元件精确的直流量测。为了满足这一需求，S530採用目前承载电容-电压（C-V）仪器卡相同的次系统机柜，来配置两个、四个或六个通道的脉衝产生器容量，如此它就可产生多样的元件测试波形，并扩展系统的灵活性。

　　将范德堡（Van der Pauw）测试和金属结构测试作为製程监控一部分，是需要结合低电压量测、高量测解析度，和优异的重复性。为因应这些应用，S530系统现在特别针对低电压量测推出7位半低杂讯数位多功能电錶之选项。它在最低档位（100mV）提供10nV解析度和次低档位（1V）的100nV解析度，另也提供7ppm直流电压重复性能。

　　目前有两种S530系统可供选择。 S530低电流系统是开发进行如次临界漏电流、闸极漏电流等特性量测之用。S530高电压系统将输出高达1000V及20mA（最大20W）能量的电源量测单元（SMU）整合至任何的系统针脚。这版本是最适合氮化镓、碳化硅，和硅LDMOS等功率元件困难的崩溃电压和漏电流测试需求。虽然新的48 pin Kelvin开关是低电流系统的独特功能，但所有新的量测选项都可搭配于这两个系统。

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